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半導(dǎo)體行業(yè)選擇廢氣治理設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)
半導(dǎo)體制造過程中使用的氣體大多具有可燃性、自燃性、腐蝕性等特性,尤其是在晶圓廠制造車間中的廢氣流通常含有腐蝕性和VOCS有機(jī)廢氣等,在排放到大氣之前通過VOCs廢氣處理設(shè)備去除這些氣體。這需要在大多數(shù)半導(dǎo)體廠制造車間中使用專門用于管理和處理工藝廢氣流的設(shè)備。因此提出安全可靠的廢氣處理設(shè)備裝置以及RTO蓄熱式焚燒設(shè)備,能夠?qū)@些氣體進(jìn)行有效處理。
塑膠廢氣怎么處理
1.塑膠廢氣來源 塑膠廠在成型、吸塑、壓塑、擠塑、注塑、吹塑等工藝流程會產(chǎn)生大量的混合型有機(jī)廢氣。所產(chǎn)生的廢氣大體可以分為塑料細(xì)顆粒物(塑膠煙塵)和揮發(fā)性有機(jī)氣體(VOCs)。這些廢氣對人體的健康有嚴(yán)重的危害,直接排入大氣中會影響周邊環(huán)境,造成大氣污染,因此需要對塑膠廠廢氣凈化處理后達(dá)標(biāo)排放。
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